| 主权项 |
1.一种阵列基板检测装置,其包括一可控制光通过 与否的光电元件、一位于该光电元件一侧的光侦 测器、一位于该光电元件另一侧之光源及一与该 光侦测器连接的计算机系统,其中该光电元件包括 一控光层及一透明导电层,检测时待测阵列基板设 置于光电元件与光源之间,该计算机系统中预存相 关阵列基板之数据。 2.如申请专利范围第1项所述之阵列基板检测装置, 其中该光侦测器系CCD照相机或者CMOS照相机。 3.如申请专利范围第1项所述之阵列基板检测装置, 其中该光侦测器的解析度高于待测阵列基板的解 析度。 4.如申请专利范围第1项所述之阵列基板检测装置, 其中该控光层系液晶层或者异方性晶体。 5.如申请专利范围第1项所述之阵列基板检测装置, 其中该透明导电层系氧化铟锡或者氧化铟锌。 6.如申请专利范围第1项所述之阵列基板检测装置, 其中该光源系点光源。 7.如申请专利范围第6项所述之阵列基板检测装置, 其中该点光源系发光二极体。 8.如申请专利范围第1项所述之阵列基板检测装置, 其中该光源系线光源。 9.如申请专利范围第8项所述之阵列基板检测装置, 其中该线光源系冷阴极萤光灯。 10.如申请专利范围第1项所述之阵列基板检测装置 ,其中该光源系面光源。 11.如申请专利范围第10项所述之阵列基板检测装 置,其中该面光源系电致发光元件。 12.一种阵列基板检测方法,其包括以下步骤: 提供如申请专利范围第1项所述的阵列基板检测装 置; 将待测阵列基板设置于该阵列基板检测装置的光 源与光电元件之间; 控制该阵列基板上的薄膜电晶体的开关,使得该光 电元件动作,使得该光电元件处于全亮状态或者全 暗状态; 分别利用光侦测器拍摄该光电元件,并将获得的影 像数据输入计算机系统;及 将该数据与计算机系统中的预定影像数据比较以 确定是否该阵列基板是否有缺陷以及缺陷的具体 位置。 图式简单说明: 第一图系先前技术阵列基板检测装置示意图。 第二图系本发明阵列基板检测装置示意图。 |
