发光设备及其制造方法

摘要

本发明提高包含TFT和有机发光元件的发光设备的可靠性。该发光设备具有薄膜晶体管和发光元件，包括：半导体下表面上的第一无机绝缘层，栅电极上表面上的第二无机绝缘层，第二无机绝缘层上的第一有机绝缘层，第一有机绝缘层上的第三无机绝缘层，第三无机绝缘层上遍布的布线层，第二有机绝缘层和布线层的末端重叠且具有35-45度的倾斜角，形成在第二有机绝缘层的上表面和侧表面上且在布线层上有开口的第四无机绝缘层，与布线层接触形成且具有与第四无机绝缘层相重叠的侧端，与阴极层和第四无机绝缘层接触形成且包含发光材料的有机化合物层，和包含发光材料的有机化合物层接触形成的阳极层，第三和第四无机绝缘层用氮化硅或氮化铝形成。

主权项

1.一种发光器件，包含：绝缘表面上的薄膜晶体管，包含：半导体层；栅极绝缘膜；和栅电极；在半导体层下的第一无机绝缘层；栅电极上的第二无机绝缘层；在第二无机绝缘层上的第一有机绝缘层；在第一有机绝缘层上的第三无机绝缘层；遍布第三无机绝缘层上的布线层；和布线层的末端重叠的第二有机绝缘层，第二有机绝缘层具有曲率连续变化的倾斜表面；第四无机绝缘层，形成在第二有机绝缘层的上表面和侧表面上，第四无机绝缘层在布线层上有开口，在布线层上形成的阴极层，阴极层的末端和第四无机绝缘层重叠；包含在阴极层和第四无机绝缘层上形成的有机材料的发光层；在包含有机材料的发光层上形成的阳极层；以及在阳极层上形成的第五无机绝缘层；其中，从发光材料发射的光通过第五无机绝缘层和阳极可见，以及其中，第三无机绝缘层和第四无机绝缘层的每一层都包含选自由氮化硅和氮化铝组成的组中的材料。