| 发明名称 | 一种陶瓷零件表面的清洗方法 | ||
| 摘要 | 本发明所述的陶瓷零件表面的清洗方法，在清洗过程中采用有机溶剂、碱性溶液、酸性溶液和超纯水对零部件进行清洗，可以有效的去除附着于陶瓷零件表面的聚合物薄膜，且步骤简单方便，清洗效果理想，而且不会对陶瓷表面造成损伤。应用此方法对半导体工艺一段时间后的陶瓷零部件清洗后，陶瓷零部件表面的污染物完全被除去，且陶瓷件的表面没有遭到损伤，清洗后的陶瓷零部件完全满足正常工艺的要求，达到清洗效果。 | ||
| 申请公布号 | CN101152651A | 申请公布日期 | 2008.04.02 |
| 申请号 | CN200610113455.X | 申请日期 | 2006.09.28 |
| 申请人 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 发明人 | 陶林 |
| 分类号 | B08B3/08(2006.01);B08B3/12(2006.01);B08B7/04(2006.01);B08B1/00(2006.01);B08B3/02(2006.01);C04B35/64(2006.01);F26B5/00(2006.01);C11D7/50(2006.01);C11D7/06(2006.01);C11D7/08(2006.01) | 主分类号 | B08B3/08(2006.01) |
| 代理机构 | 北京凯特来知识产权代理有限公司 | 代理人 | 郑立明 |
| 主权项 | 1.一种陶瓷零件表面的清洗方法，其特征在于，包括以下步骤：A、用有机溶剂清洗零件表面；B、用碱性溶液清洗零件表面；C、将零件放入超声槽中，清洗设定的时间。 | ||
| 地址 | 100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号M5座2楼 | ||