| 发明名称 | 药液的评估方法、鉴定方法及半导体装置的制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供的一种药液的评估方法，包括：通过测量方式求出关于液体中的粒子的与每种上述粒子的大小相对应的粒子数量；基于用上述测量方式求出的与每种上述粒子的大小相对应的粒子数量，用函数表现上述液体中的粒子的大小和与上述大小对应的粒子数量之间的关系；以及基于上述函数来评估在上述液体中的粒子中其大小在测量限度以下的粒子的影响。 | ||
| 申请公布号 | CN100373537C | 申请公布日期 | 2008.03.05 |
| 申请号 | CN200510071800.3 | 申请日期 | 2005.04.14 |
| 申请人 | 株式会社东芝 | 发明人 | 伊藤信一;盐原英志 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01);H01L21/66(2006.01);G01N15/00(2006.01) | 主分类号 | H01L21/00(2006.01) |
| 代理机构 | 北京市中咨律师事务所 | 代理人 | 李峥;于静 |
| 主权项 | 1.一种药液的评估方法，包括：通过测量方式求出液体中的粒子的粒子数量与上述粒子的大小的分布关系；基于用上述测量方式求出的上述粒子的粒子数量与上述粒子的大小的分布关系，用函数表现上述液体中的粒子的大小和与上述大小对应的粒子数量之间的关系；以及基于上述函数来评估在上述液体中的粒子中其大小在测量限度以下的粒子的影响。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||