| 发明名称 | 无机电致发光显示器绝缘介质及其制造方法 | ||
| 摘要 | 无机电致发光显示器绝缘介质及其制造方法；包括用电子束蒸发法制备了Al<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB>/TiO<SUB>2</SUB>多层复合薄膜和Al<SUB>x</SUB>Ti<SUB>y</SUB>O<SUB>z</SUB>薄膜作为ZnS:Mn ACTFEL器件的上介质层，用电子束蒸发法制备了BaTiO<SUB>3</SUB>和SrTiO<SUB>3</SUB>薄膜，BaTiO<SUB>3</SUB>薄膜的后续退火温度，并作为ZnS:MnACTFEL器件的下介质层或电子注入层，与传统溅射法制备的SrTiO<SUB>3</SUB>、Ba<SUB>0.5</SUB>Sr<SUB>0.5</SUB>TiO<SUB>3</SUB>薄膜作了比较。优化了脉冲反应溅射Al<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB>薄膜的工艺条件包括功率、气压和氧气含量，并应用于ZnS:Mn四像素器件和2英寸128×64矩阵屏，获得了较好的亮度结果。制备上述器件所使用的介质包括了电子束蒸发、射频磁控溅射或脉冲反应溅射的Ba<SUB>0.5</SUB>Sr<SUB>0.5</SUB>TiO<SUB>3</SUB>、SrTiO<SUB>3</SUB>、BaTiO<SUB>3</SUB>、HfO<SUB>2</SUB>、Al<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB>、Ta<SUB>2</SUB>O<SUB>5</SUB>、ZrO<SUB>2</SUB>薄膜。 | ||
| 申请公布号 | CN101123282A | 申请公布日期 | 2008.02.13 |
| 申请号 | CN200610029809.2 | 申请日期 | 2006.08.08 |
| 申请人 | 上海广电电子股份有限公司 | 发明人 | 黄浩;肖田;林明通;徐毅 |
| 分类号 | H01L33/00(2006.01);H01L27/15(2006.01);H01L21/31(2006.01);H01L21/316(2006.01);C23C14/00(2006.01);C23C14/30(2006.01);C23C14/34(2006.01) | 主分类号 | H01L33/00(2006.01) |
| 代理机构 | 上海申汇专利代理有限公司 | 代理人 | 吴宝根 |
| 主权项 | 1.一种无机电致发光显示器绝缘介质，包括下介质层、上介质层；其特征在于，所述介质层为复合薄膜。 | ||
| 地址 | 200060上海市普陀区长寿路97号 | ||