发明名称 Herstellverfahren für eine erhabene Kondensatorelektrode
摘要
申请公布号 DE59814135(D1) 申请公布日期 2008.01.24
申请号 DE19985014135 申请日期 1998.02.05
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 MAZURE-ESPEJO, CARLOS DR.;WEINRICH, VOLKER DR.
分类号 H01L21/3205;H01L21/8247;H01L21/02;H01L21/822;H01L21/8242;H01L21/8246;H01L27/04;H01L27/10;H01L27/105;H01L27/108;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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