| 摘要 |
一种以合金金属制作反射性电极之二极体结构之方法，包含下列步骤：（a）取P型向上式氮化镓晶图，P型向上式氮化镓晶圆包括第一基板、缓冲层及磊晶层；（b）于P型向上式氮化镓晶圆之磊晶层进行微影制程及蚀刻型成P型氮化镓平台；（c）于上述之P型氮化镓平台镀上合金金属层，并对该合金金属层表面进行热处理，形成含合金金属之高反射欧姆接触层；（d）于该P型向上式氮化镓晶圆上以微影制程及金属蒸镀制程形成n型导电层；（e）于该含合金金属之高反射欧姆接触层上以微影制程及金属蒸镀制程形成P型导电层；以及（f）将上述步骤（a）至（e）所构成之结构以覆晶式封装制程封装于第二基板上，第二基板系以金属材料连接上述结构。如上述，以本发明方法所制备之二极体结构，因以合金金属形成含合金金属之高反射欧姆接触层，可提升二极体结构热稳定性。 |
