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经营范围
发明名称
Waferpoliervorrichtung und -verfahren
摘要
申请公布号
DE60036825(D1)
申请公布日期
2007.11.29
申请号
DE20006036825
申请日期
2000.03.15
申请人
EBARA CORP.
发明人
KOBAYASHI, TATSUNORI;TANAKA, HIROSHI;KAJIWARA, JIRO
分类号
B24B41/06;B24B53/007;B24B57/02
主分类号
B24B41/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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