摘要 |
Es wird eine piezoelektrische Dünnschichtvorrichtung bereitgestellt, deren Frequenz-Impedanz-Eigenschaft gegenüber einer Störung unempfänglich ist. Ein akustischer Schicht-Volumen-Resonator weist eine Konfiguration auf, bei der eine Haftschicht, eine untere Elektrode, eine piezoelektrische Dünnschicht und eine obere Elektrode in dieser Reihenfolge auf einem Auflagesubstrat geschichtet sind. Ein Ansteuerungsabschnitt der oberen Elektrode und ein Ansteuerungsabschnitt der unteren Elektrode sind zueinander mit der dazwischen eingefügten piezoelektrischen Dünnschicht gegenüberliegend. Der jeweilige Ansteuerungsabschnitt weist eine schmale bzw. schlanke zweidimensionale Form auf, wobei eine Größe in einer zugehörigen longitudinalen Richtung nicht kleiner als zwei Mal, besser vier Mal und noch besser zehn Mal so groß ist wie eine Größe in einer zugehörigen Breiterichtung.
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