发明名称 Piezoelektrische Dünnschichtvorrichtung
摘要 Es wird eine piezoelektrische Dünnschichtvorrichtung bereitgestellt, deren Frequenz-Impedanz-Eigenschaft gegenüber einer Störung unempfänglich ist. Ein akustischer Schicht-Volumen-Resonator weist eine Konfiguration auf, bei der eine Haftschicht, eine untere Elektrode, eine piezoelektrische Dünnschicht und eine obere Elektrode in dieser Reihenfolge auf einem Auflagesubstrat geschichtet sind. Ein Ansteuerungsabschnitt der oberen Elektrode und ein Ansteuerungsabschnitt der unteren Elektrode sind zueinander mit der dazwischen eingefügten piezoelektrischen Dünnschicht gegenüberliegend. Der jeweilige Ansteuerungsabschnitt weist eine schmale bzw. schlanke zweidimensionale Form auf, wobei eine Größe in einer zugehörigen longitudinalen Richtung nicht kleiner als zwei Mal, besser vier Mal und noch besser zehn Mal so groß ist wie eine Größe in einer zugehörigen Breiterichtung.
申请公布号 DE102007000133(A1) 申请公布日期 2007.11.15
申请号 DE200710000133 申请日期 2007.03.07
申请人 NGK INSULATORS LTD. 发明人 YAMAGUCHI, SHOICHIRO;OSUGI, YUKIHISA;TAI, TOMOYOSHI;SAKAI, MASAHIRO
分类号 H03H9/15 主分类号 H03H9/15
代理机构 代理人
主权项
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