发明名称 层组合及制造层组合之方法
摘要 本发明系相关于一层组合以及产生一层组合之方法。该层组合系具有配置于一基板上并且包括一第一次区域以及一第二次区域的一层,其中,该第一次区域系包括可分解材质,以及该第二次区域系紧接于该第一次区域而配置,且系具有包括一非可分解材质的一有用结构(useful structure),再者,该层组合系亦具有一覆盖层,位在包括可分解材质以及该有用结构之该层上,而该层组合系以该可分解材质可以自该层组合被移除的方式而加以设计。
申请公布号 CN100349280C 申请公布日期 2007.11.14
申请号 CN03813829.8 申请日期 2003.06.03
申请人 因芬尼昂技术股份公司 发明人 H·-J·巴思;R·塞滋
分类号 H01L21/768(2006.01);H01L23/522(2006.01);H01L21/316(2006.01) 主分类号 H01L21/768(2006.01)
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 温宏艳;赵苏林
主权项 1.一种层组合,其系包括:-配置于一基板上并且包括一第一次区域以及一第二次区域的一层,其中,该第一次区域系包括可分解材质,以及该第二次区域系紧接于该第一次区域而配置,并系具有包括一非可分解材质的一有用结构(useful structure);-一覆盖层,位在包括可分解材质以及该有用结构之该层上;以及-一导电钝化层,其系至少位在该有用结构以及该覆盖层之间;-其中,该层组合系以该可分解材质可以自该层组合被移除的方式而加以设计。
地址 德国慕尼黑