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发明名称
表面形状之测定方法及使用该方法之装置
摘要
藉由以相对于光之行进方向倾斜任意角度之倾斜姿势配备参考平面,而藉由自测定对象面及参考平面返回相同光路之反射光来产生干涉带。该干涉带之各像素的强度值系由CCD相机进行拍摄,CPU系利用求取干涉带波形之表现式,于算出每个对象像素,利用各个像素之强度值及其近之像素的强度值,并假定含于各像素中之干涉带波形之直流成分、交流振幅及相位等参数,以求取各像素之干涉带波形的相位,致可换算成高度而以测定出表面形状。
申请公布号
TW200741175
申请公布日期
2007.11.01
申请号
TW096103487
申请日期
2007.01.31
申请人
国立大学法人东京工业大学;东丽工程股份有限公司
发明人
杉山将;小川英光;北川克一;铃木一嘉
分类号
G01B11/25(2006.01)
主分类号
G01B11/25(2006.01)
代理机构
代理人
何金涂;何秋远
主权项
地址
日本
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