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发明名称
薄膜电晶体基板及薄膜电晶体基板之生成方法
摘要
存在下述问题:涂布电极图案易产生与亲液性疏液性图案不一致之图案不良,且涂布过程复杂,生产性低。本发明之薄膜电晶体基板具有:基板;闸极,其于该基板平面上复数个排列而形成,由环状平面图案所构成,该环状平面图案系连续连接复数个椭圆排列于长轴方向上而形成之外缘所形成之图案,或者系由1个椭圆之外缘形状所形成之图案;闸极绝缘膜,其形成于上述闸极上;以及源极及汲极,其等形成于除投影有闸极形状之闸极绝缘膜上之平面区域以外之闸极绝缘膜上。
申请公布号
TW200735372
申请公布日期
2007.09.16
申请号
TW095145212
申请日期
2006.12.05
申请人
日立制作所股份有限公司
发明人
安藤正彦;井上智博;新井唯;藤森正成
分类号
H01L29/786(2006.01)
主分类号
H01L29/786(2006.01)
代理机构
代理人
陈长文
主权项
地址
日本
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