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发明名称 MICROMACHINE AND PRODUCTION METHOD THEREFOR
摘要
申请公布号 EP1528037(A4) 申请公布日期 2007.09.12
申请号 EP20030784618 申请日期 2003.08.08
申请人 SONY CORPORATION 发明人 TADA, MASAHIRO;KINOSHITA, TAKASHI;TANIGUCHI, TAKESHI;IKEDA, KOICHI
分类号 B81B3/00;B81C1/00;H01L21/302;H01L27/14;H01L29/82;H01L29/84;H03H3/007;H03H9/24;H03H9/46;H03J5/00;(IPC1-7):B81B3/00 主分类号 B81B3/00
代理机构 代理人
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