氮化物半导体发光装置及该制造方法

摘要

具备：氮化镓基板；和包含设置在前述氮化镓基板上的发光层的氮化物半导体的多层膜；前述氮化镓基板及前述多层膜，系分别构成：利用同一劈开面的雷射光射出侧端面；和利用同一劈开面的雷射光反射侧端面；在前述雷射光射出侧端面上，设有包含第1氮化矽层的第1膜；在前述雷射光反射侧端面上设有包含：第2氮化矽层，以及交互层积设置在前述第2氮化矽层上的氧化物层与氮化矽层的层积膜的第2膜。