发明名称
摘要
申请公布号 JP3958878(B2) 申请公布日期 2007.08.15
申请号 JP19980272077 申请日期 1998.09.25
申请人 发明人
分类号 C23C14/32;C23C14/54 主分类号 C23C14/32
代理机构 代理人
主权项
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