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发明名称
摘要
申请公布号
JP3953313(B2)
申请公布日期
2007.08.08
申请号
JP20010390321
申请日期
2001.12.21
申请人
发明人
分类号
H01L21/82;H03K19/00;H03K19/173
主分类号
H01L21/82
代理机构
代理人
主权项
地址
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