探针装置

摘要

本发明系稳定地维持探针接脚与晶圆之接触。于印刷布线基板13外周部之复数处设置有螺钉50。螺钉50旋合于加强板25并贯通印刷布线基板13之外周部。于印刷布线基板13外周部之下表面侧设置有压板60，由压板60压住螺钉50之下端面。压板60经由分隔件61而固定于卡片固定器14。于螺钉50之上端部侧安装有螺帽51。于由压板60压住螺钉50之下端面之状态下，藉由转动螺钉50而印刷布线基板13之外周部升降。转动复数处之各螺钉50以调整印刷布线基板13外周部之高度，藉此可调整探针卡2整体相对于晶圆之平行度。