吸附垫

摘要

一种吸附垫，吸附垫(1)包括具有可由真空吸附基板(W)的下面(W₁)的支撑面(22)及被支撑的筒状部(23)的垫(2)、支撑筒状部(23)的支撑箱(3)、和衬片(4)等。筒状部(23)，在支撑箱(3)的平面部(31)上可沿横X方向移动地支撑其曲面状的下端部(23a)，并且由内圈部(32)限制大的变位。另外，通过垫的环面(24)与上端面(33)之间的间隔限制垫的倾斜。衬片(4)从外气侧(34a)对真空侧(34b)进行密封，以不妨碍垫的运动。这种吸附垫，在基板产生热收缩、垫的吸附支撑面被基板拉引时，使垫沿该方向移动，而使支撑面与基板之间不脱离，能可靠地防止真空破坏。

主权项

1.一种吸附垫，包括垫部和支撑部，所述垫部具有：由产生比支撑所述对象物产生的负荷的支撑力大的吸附力的真空、对被支撑的面为平面的对象物的所述被支撑面进行吸附的支撑面以及被支撑的被支撑部，所述支撑部支撑所述被支撑部，其特征在于：所述垫部可沿与所述平面相平行的方向移动、并且所述支撑面可倾斜，所述吸附垫还具有限制所述垫部移动的量在小移动范围内的移动限制结构部与限制所述支撑面倾斜的量在小倾斜范围内的倾斜限制结构部。