具有两级进给机构的超精密磨床及其控制方法

摘要

本发明涉及具有两级进给机构的超精密数控磨床，包括精密数控磨床、微进给工作台、检测系统、集成接口系统；微进给工作台包括压电驱动器、柔性铰链机构及其控制系统；检测系统包括位置传感器、尺寸测量仪；集成接口系统，用于传递数控磨床、微进给工作台、尺寸测量仪的相关脉冲信号，以实现超精密数控磨床基本工艺操作的协同与集成控制。还涉及该磨床的控制方法，在磨床数控系统的基础上，增设微进给工作台控制系统、监测系统、集成接口系统，使磨床数控系统通过数控程序、集成接口系统传递相关脉冲信号，实现与微进给工作台的通讯、基本工艺操作协同与控制。由此完成高精度零件如光学玻璃、陶瓷等脆硬材料的粗－半精－精－精细磨削。

主权项

1.具有两级进给机构的超精密数控磨床，其特征在于，它包括：普通精密数控磨床、微进给工作台、检测系统、集成接口系统；所述的微进给工作台包括柔性铰链机构、压电驱动器及其控制系统；所述的检测系统包括位置传感器、尺寸测量仪；其中，位置传感器用于监测基于微进给工作台的砂轮架部件二次进给实际工作位置，以作为微进给工作台控制系统的控制依据；尺寸测量仪用于检测磨削过程中工件已磨削表面的实际尺寸，以作为控制磨削过程及其相关工艺参数的依据；所述的集成接口系统，用于传递数控磨床、微进给工作台、尺寸测量仪的相关脉冲信号，以实现超精密数控磨床基本工艺操作的协同与集成控制。