离子源之运转方法及离子植入装置

摘要

当一离子束4系藉由使用一含有三氟化硼之气体作为一用于将该气体供应至一离子源2之一电浆室20中的离子源气体50而自该离子源2萃取时，一电浆电极31相对于该离子源2之该电浆室20之一偏电压VB系藉由一偏压电路64设定为正。