发明名称 METHOD FOR PRODUCING A STRAINED LAYER ON A SUBSTRATE AND LAYERED STRUCTURE
摘要
申请公布号 EP1794779(A2) 申请公布日期 2007.06.13
申请号 EP20050798784 申请日期 2005.09.22
申请人 FORSCHUNGSZENTRUM JUELICH GMBH 发明人 MANTL, SIEGFRIED;HOLLAENDER, BERNHARD;BUCA, DAN, MIHAI
分类号 H01L21/20;H01L29/04 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
地址