制造钼钛溅镀靶座及靶材之方法

摘要

本发明提供钼钛溅镀靶材。在一态样中，靶材实质上不具有β(Ti, Mo)合金相。在另一态样中，靶材实质上包含单一相β(Ti,Mo)合金。在两态样中，减少了溅镀期间的粒子排放。本发明亦提供备制靶材的方法、将靶材接合在一起以制造大面积溅镀靶材的方法及由靶材制造膜层的方法。