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发明名称 Flap resonator, method of manufacturing a flap resonator, and integrated circuit including the flap resonator
摘要
申请公布号 EP1777815(A1) 申请公布日期 2007.04.25
申请号 EP20050022647 申请日期 2005.10.18
申请人 SEIKO EPSON CORPORATION 发明人 TANAKA, KAZUAKI
分类号 H03H9/24;H03H3/007;H03H9/02 主分类号 H03H9/24
代理机构 代理人
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