| 发明名称 | 壳形激励器 | ||
| 摘要 | 在衬底上形成微机械谐振器。谐振器具有部分球形壳，其在该壳的外面部分上被箝位到所述衬底。在其他实施例中，可以使用扁平圆盘或其他形状。在圆盘的所选择部分中诱导运动，诱导可容易检测的面外运动。在一个实施例中，使用激光器加热圆盘的所选择部分并且诱导运动。通过电容性或干涉技术能够检测该运动。 | ||
| 申请公布号 | CN1951007A | 申请公布日期 | 2007.04.18 |
| 申请号 | CN200480030868.0 | 申请日期 | 2004.08.20 |
| 申请人 | 康乃尔研究基金会有限公司;美国政府海军部 | 发明人 | 马克西姆·扎拉鲁丁诺夫;罗伯特·B·赖克恩巴赫;基思·奥宾;布赖恩·H·休斯顿;吉瓦克·M·帕皮亚;哈罗德·G·克雷格黑德 |
| 分类号 | H03H9/00(2006.01) | 主分类号 | H03H9/00(2006.01) |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 龚海军;张志醒 |
| 主权项 | 1.一种微机械谐振器，包括：衬底；部分球形壳，其在该壳的外面部分上被箝位到所述衬底。 | ||
| 地址 | 美国纽约州 | ||