| 发明名称 |
BLOCKER PLATE BYPASS TO DISTRIBUTE GASES IN A CHEMICAL VAPOR DEPOSITION SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20070038047(A) |
申请公布日期 |
2007.04.09 |
| 申请号 |
KR20067027335 |
申请日期 |
2005.05.19 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS INC. |
发明人 |
BALASUBRAMANIAN GANESH;ROCHA ALVAREZ JUAN CARLOS;CHO TOM K.;RAJ DAEMIAN;PADHI DEENESH;NOWAK THOMAS;KIM, BOK HOEN;M'SAAD HICHEM |
| 分类号 |
H01J37/32;C23C16/44;C23C16/455;C23F1/00;H01L21/205 |
主分类号 |
H01J37/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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