发明名称 | 用于气体传感器的双声路声表面波器件 | ||
摘要 | 本发明公开了一种用于气体传感器的双声路声表面波器件,包括两个全转移多条耦合器和两个输出换能器分别对称设置在输入换能器的左右两侧,全转移多条耦合器和输出换能器之间是区域,该区域的宽度,即全转移多条耦合器与输出换能器之间的距离为1微米到5厘米,全转移多条耦合器的长度等于输入换能器的最大声孔径与输出换能器的最大声孔径长度之和,并且全转移多条耦合器的上端与输入换能器的最大声孔径上端对齐,全转移多条耦合器的下端与输出换能器的最大声孔径下端对齐。本发明不仅可以用来消除晶体基片材料由于温度、湿度等条件的改变对测量中声表面波信号的影响,而且还可以抑制体声波信号对测量中声表面波信号的影响。 | ||
申请公布号 | CN1936571A | 申请公布日期 | 2007.03.28 |
申请号 | CN200610104726.5 | 申请日期 | 2006.10.13 |
申请人 | 西安交通大学 | 发明人 | 朱长纯;文常保;卢文科;刘君华 |
分类号 | G01N29/12(2006.01) | 主分类号 | G01N29/12(2006.01) |
代理机构 | 西安通大专利代理有限责任公司 | 代理人 | 陈翠兰 |
主权项 | 1、一种用于气体传感器的双声路声表面波器件,包括在同一基片材料(5)上制作一个输入换能器(1)、两个全转移多条耦合器(2)、两个输出换能器(4),其特征在于,两个全转移多条耦合器(2)和两个输出换能器(4)分别对称设置在输入换能器(1)的左右两侧,全转移多条耦合器(2)和输出换能器(4)之间是区域(3),全转移多条耦合器(2)与输出换能器(4)之间距离为1微米到5厘米。 | ||
地址 | 710049陕西省西安市咸宁路28号 |