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发明名称 SEMICONDUCTOR PROCESS APPARATUS
摘要
申请公布号 KR100687163(B1) 申请公布日期 2007.02.27
申请号 KR20000015689 申请日期 2000.03.28
申请人 发明人
分类号 H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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