去除光阻的方法以及光阻重工的方法

摘要

一种去除光阻的方法，此方法在整个光阻移除的过程中并不使用电浆，而以第一溶液对一光阻层进行一第一移除步骤。然后，以第二溶液对光阻层进行一第二移除步骤，以完全去除此光阻层。其中，第一溶液与第二溶液的极性不同，且第一溶液的极性大于第二溶液的极性。