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发明名称 Vorrichtung und Verfahren zur Plasmabehandlung von dielektrischen Körpern
摘要
申请公布号 DE10202311(B4) 申请公布日期 2007.01.04
申请号 DE20021002311 申请日期 2002.01.23
申请人 SCHOTT AG 发明人 ARNOLD, GREGOR;BEHLE, STEPHAN;BICKER, MATTHIAS;LUETTRINGHAUS-HENKEL, ANDREAS
分类号 H01J37/32;H05H1/24;B01J3/00;B01J19/08;B65D23/02;C23C16/00;C23C16/04;C23C16/509;C23C16/54;H01L21/677;H05H1/46 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
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