光罩与其层次间对准度的量测方法

摘要

一种光罩与其层次间对准度的量测方法。此光罩包括基板与形成于基板上的图案，其中此图案至少包括第一图形层与第二图形层。此外，有多数个形成于基板上的对准标记组。对准标记组包括第一对准标记与第二对准标记。第一对准标记用于对第一图形层进行量测位准，而第二对准标记用于对第二图形层进行量测位准。在一个对准标记组中，第二对准标记环绕第一对准标记，并与第一对准标记间隔一固定距离。量测此光罩的两种对准标记之间的相对位置可获得层次间对准度的结果。