一种奈米碳管制造方法

摘要

本发明提供一种奈米碳管制造方法，其包括下列步骤：提供一表面排布有预定图案掩模之基底；于所述基底表面沈积复数催化剂金属膜层及复数碳膜层，形成一复合膜层；去除所述基底表面之掩模，获得具有与掩模预定图案相应图案之复合膜层；将所述复合膜层进行热处理，使复数催化剂金属膜层及复数碳膜层熔合形成含有金属碳化物之催化剂层；于所述催化剂层上进行化学气相沈积生长奈米碳管，获得具有与所述预定图案相应之图案之奈米碳管层。