发明名称 |
一种投影光学系统 |
摘要 |
一种投影光学系统,其特征在于,所述光学系统包括:一个光轴;一个凹面球面反射镜;一对棱镜,每一个棱镜都具有相应的第一和第二平面,第二平面与第一平正透镜的平面按照与光轴相反的方向紧密接触,而第一平面则分别朝向物方平面和像方平面;一个正透镜组,由一个平凸透镜和一个弯月透镜组成,凸面朝向反射镜;一个望远透镜组,由一个凹凸透镜,一个双凸透镜和一个双凹透镜组成;一个凹面反射镜,凹面朝向物方;本发明可以增加光刻机投影光学系统的工作距离,为工件台和掩模台提供较大的设计空间,另外可以进一步减小设备的体积。 |
申请公布号 |
CN1877454A |
申请公布日期 |
2006.12.13 |
申请号 |
CN200610028605.7 |
申请日期 |
2006.07.04 |
申请人 |
上海微电子装备有限公司 |
发明人 |
刘国淦;蔡燕民 |
分类号 |
G03F7/20(2006.01);H01L21/00(2006.01) |
主分类号 |
G03F7/20(2006.01) |
代理机构 |
上海智信专利代理有限公司 |
代理人 |
王洁 |
主权项 |
1、一种投影光学系统,其特征在于,所述光学系统包括:一个光轴;一个凹面球面反射镜;一组具有正光焦度的透镜组,与球面反射镜间隔一定的距离;按照离反射镜从远到近的距离排列,其特征在于该透镜组包括:一对棱镜,每一个棱镜都具有相应的第一和第二平面,第二平面与第一平正透镜的平面按照与光轴相反的方向紧密接触,而第一平面则分别朝向物方平面和像方平面;一个正透镜组,由一个平凸透镜和一个弯月透镜组成,凸面朝向反射镜;一个望远透镜组,由一个凹凸透镜,一个双凸透镜组成的正透镜和一个双凹负透镜组成。 |
地址 |
201203上海市张江高科技园区张东路1525号 |