发明名称 Cathodic Sputtering Apparatus
摘要
申请公布号 KR100656734(B1) 申请公布日期 2006.12.12
申请号 KR20040062309 申请日期 2004.08.09
申请人 发明人
分类号 C23C14/35;C23C14/00;C23C14/34;H01J37/34 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
主权项
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