| 发明名称 |
Radiation-sensitive resin composition |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG125883(A1) |
申请公布日期 |
2006.10.30 |
| 申请号 |
SG20000004850 |
申请日期 |
2000.09.16 |
| 申请人 |
JSR CORPORATION |
发明人 |
DOUKI KATSUJI;MURATA KIYOSHI;ISHII HIROYUKI;KAJITA TORU;SHIMOKAWA TSUTOMU |
| 分类号 |
G03F7/027;G03F7/004;G03F7/039 |
主分类号 |
G03F7/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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