| 发明名称 | 具有流量控制的平台真空气路系统及其控制方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及半导体晶片处理的平台真空气路系统及其控制方法。本发明公开的具有流量控制的平台真空气路系统及其控制方法，包括抽气系统、充气系统，负载锁闭室、传输腔室、与负载锁闭室和传输腔室连接的隔膜阀，若干个流量控制器。方法：当大气机械手准备把晶片送入负载锁闭室时，充气气路中的隔膜阀打开，从而向负载锁闭室中快速充入氮气气体；当负载锁闭室压力等于大气传输单元内压力时，第一阀门打开，而氮气继续吹扫使负载锁闭室相对于大气传输单位为正压，此时大气机械手把晶片放入负载锁闭室；在抽气阶段，对负载锁闭室进行抽气；当负载锁闭室内真空度与传输腔室的平衡后，第一阀门打开，真空机械手进入负载锁闭室取出晶片，第一阀门闭合。 | ||
| 申请公布号 | CN1851890A | 申请公布日期 | 2006.10.25 |
| 申请号 | CN200510126401.2 | 申请日期 | 2005.12.08 |
| 申请人 | 北京圆合电子技术有限责任公司 | 发明人 | 张金斌 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01);H01L21/677(2006.01) | 主分类号 | H01L21/67(2006.01) |
| 代理机构 | 北京路浩知识产权代理有限公司 | 代理人 | 向华 |
| 主权项 | 1、一种具有流量控制的平台真空气路系统，包括抽气系统、充气系统、负载锁闭室、传输腔室、与负载锁闭室和传输腔室连接的隔膜阀，其特征在于在真空气路中还包括若干个流量控制器。 | ||
| 地址 | 100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号 | ||