用于改良的电极板的方法和设备

摘要

电极板(26)构造为结合到等离子体处理系统中的电极(28)。该电极板(26)包括构造为容纳气体喷射装置(110)的多个气体喷射孔(100)。该电极板包括三个或更多安装孔(140)，其中该电极板构造为通过使三个或更多安装孔与装到电极上的三个或更多安装螺钉对准并结合，而与电极结合。

主权项

1.一种电极板组件，用于将处理气体引到等离子体处理系统中衬底之上的处理空间，所述电极板组件包括：电极，被构造为结合到所述等离子体处理系统；三个或更多安装螺钉，结合到所述电极上；电极板，其包括多个气体喷射孔和三个或更多安装孔，所述三个或更多安装孔构造为对准并结合到所述安装螺钉，以将所述电极板结合到所述电极；多个气体喷射装置，结合到所述多个气体喷射孔，其中所述处理气体经过所述多个气体喷射装置进入所述处理空间中。