光学器件用膜腔构造体及其制造方法和光学器件

摘要

提供不预先形成分离槽而制造的同时，实施了为搁置光学部件的方法的光学器件用膜腔构造体、光学器件及光学器件用膜腔构造体的制造方法。光学器件用膜腔构造体(C1)，是由绝缘体层(11、13、15)和金属层(12、14、16)相互交错叠层而成，形成了组装于布线衬底的组装面，包括与布线衬底电连接的第一端子部(112)、上表面部上具有近似的开口部(2a)的膜腔部(2)、围绕开口部(2a)在上表面形成的搁置透过光学元件芯片(121)接收的光线或发出的光线的透光性构件(124)的透光性构件搁置部(15a)。

主权项

1.一种光学器件用膜腔构造体，组装到搁置了光学元件芯片的布线衬底上，其特征为：由至少两层绝缘体层和至少两层金属层相互交替叠层制成，包括：第一端子部，形成在组装了上述布线衬底的组装面上，与该布线衬底电连接，膜腔部，在与上述组装面相反一侧的表面的中央部分具有近似矩形的开口部，透光性构件搁置部，形成在围绕上述开口部的上述相反一侧的表面上，搁置上述光学元件芯片接收或者发射的光线透过的透光性构件；另外上述膜腔部中，底面，是第一上述金属层的一部分的同时，还是搁置上述光学元件芯片的芯片搁置部，各内壁面，在从上述底面向上述开口部的方向上，形成了由第一上述绝缘体层、第二上述金属层及第二上述绝缘体层构成的叠层，在表面上，形成了复数个由该第一绝缘体层及该第二金属层构成的突设部，上述各突设部的上述第二金属层，在与上述第一端子部电连接的同时，还是与上述光学元件芯片电连接的第二端子部，上述透光性构件搁置部，是上述第二绝缘体层的一部分，包含固定上述透光性构件的固定方法。