包括含有氟氨磺酰的聚合物的负性抗蚀剂组合物

摘要

公开了一种负性抗蚀剂组合物，其中抗蚀剂组合物包括一种含有至少一种具有右面两种通式之一的氟氨磺酰单体单元的聚合物：其中：M是可聚合的骨架部分；Z是选自－C(O)O－，－C(O)－，－OC(O)－，－O－C(O)－C(O)－O－或烷基的连接部分；P是0或1；R₁是线性的或支化的1－20个碳原子的烷基；R₂是氢、氟、线性的或支化的1－6个碳原子的烷基、或半氟或全氟化的线性的或支化的1－6个碳原子的烷基；n是1－6的一个整数。还公开了一种在衬底上形成图案化材料层的方法，其中该方法包括：将含氟氨磺酰的抗蚀剂组合物施于衬底上以在材料层上形成一个抗蚀剂层；将抗蚀剂层图案方式曝光于成像辐射；除去未曝光于成像辐射的抗蚀剂层部分以在相应于图案的抗蚀剂层中产生间隔；和除去抗蚀剂层中形成的间隔中的材料层部分，从而形成图案化材料层。

主权项

1.一种含有一种聚合物的负性抗蚀剂组合物，该聚合物含有至少一种具有下面两种通式之一的氟氨磺酰单体单元：其中：M是可聚合的骨架部分；Z是选自-C(O)O-，-C(O)-，-OC(O)-，-O-C(O)-C(O)-O-或烷基的连接部分；P是0或1；R₁是线性的或支化的1-20个碳原子的烷基；R₂是氢、氟、线性的或支化的1-6个碳原子的烷基、或半氟或全氟化的线性的或支化的1-6个碳原子的烷基；n是1-6的一个整数。