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经营范围
发明名称
A Washing method of electronic material
摘要
申请公布号
KR100629095(B1)
申请公布日期
2006.09.28
申请号
KR19990043734
申请日期
1999.10.11
申请人
发明人
分类号
B08B3/12;H01L21/304;H01L21/306
主分类号
B08B3/12
代理机构
代理人
主权项
地址
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