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发明名称 COPOLYMERE FÜR PHOTORESISTZUSAMMENSETZUNGEN UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG
摘要
申请公布号 DE60116484(T2) 申请公布日期 2006.08.24
申请号 DE2001616484T 申请日期 2001.05.04
申请人 E.I. DUPONT DE NEMOURS AND CO. 发明人 WHELAND, CLAYTON;FRENCH, HARQUAIL;SCHADT, LEONARD III;ZUMSTEG, C.
分类号 C08F214/18;C08F8/00;C08F220/10;C09D7/00;C09D127/12;G03F7/004;G03F7/038;G03F7/039;H01L21/00 主分类号 C08F214/18
代理机构 代理人
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