发明名称 超结半导体器件结构和方法
摘要 在一个实施例中,在一半导体材料体中形成一个电荷补偿区。导电层和电荷补偿层耦合。在进一步的实验例中,电荷补偿区包括一由相反导电类型的半导体层填入的槽。
申请公布号 CN1822391A 申请公布日期 2006.08.23
申请号 CN200510022822.0 申请日期 2005.12.08
申请人 半导体元件工业有限责任公司 发明人 加里·H·莱厄切尔特;彼得·J·兹德贝尔;戈登·M·格里芙娜
分类号 H01L29/78(2006.01);H01L21/336(2006.01) 主分类号 H01L29/78(2006.01)
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人 秦晨
主权项 1.一种超结开关器件,包括:半导体材料体;在该半导体材料体中形成的电荷补偿区;和第一导电层,形成在该半导体材料体上并和电荷补偿区耦合。
地址 美国亚利桑那