| 主权项 |
1.一种遥控保养系统,乃属于产业用机器与保养该 产业用机器的作业装置是透过网际网路而连接的 遥控保养系统,其特征为: 前述产业用机器系具备有:将显示其状态的机器资 讯使用指定共通键加以密码的密码单元、和配合 来自前述作业装置的要求而发送属于经由该密码 单元加以密码的机器资讯的密码机器资讯的通讯 单元、和前述产业用机器是对前述作业装置输出 发送共通键的输出入单元。 2.一种遥控保养系统,乃属于产业用机器与保养该 产业用机器的作业装置是透过网际网路而连接的 遥控保养系统,其特征为: 前述作业装置系具备有:接收表示前述产业用机器 状态的机器资讯被密码的密码机器资讯与共通键 的通讯单元、和使用该共通键对前述密码机器资 讯加以解码的解码单元、和输出经由该解码单元 加以解码的机器资讯的输出入单元。 3.一种遥控保养系统,乃属于产业用机器与保养该 产业用机器的作业装置是透过网际网路而连接的 遥控保养系统,其特征为: 前述产业用机器系具备有:将显示其状态的机器资 讯使用指定共通键加以密码的密码单元、和配合 来自前述作业装置的要求而发送属于经由该密码 单元加以密码的机器资讯的密码机器资讯的通讯 单元、和前述产业用机器是输出对前述作业装置 发送共通键的输出入单元; 前述作业装置系具备有:接收经由前述产业用机器 的通讯单元所发送的密码机器资讯与共通键的通 讯单元、和使用该共通键对前述密码机器资讯加 以解码的解码单元、和输出经由该解码单元加以 解码的机器资讯的输出入单元。 4.一种遥控保养系统,乃属于实行指定处理的一个 以上的产业用机器与保养产业用机器的作业装置 是透过网际网路而连接的遥控保养系统,其特征为 : 产业用机器系具备有:将显示产业用机器状态的机 器资讯使用指定共通键加以密码的密码单元、和 将经由属于密码单元加以密码的机器资讯的密码 机器资讯配合来自作业装置的要求而发送到作业 装置,且配合来自接收密码机器资讯的作业装置的 要求来发送用于将密码机器资讯加以密码时的共 通键的通讯单元、和输出显示产业用机器对作业 装置发送共通键过程的全部或一部分的输出入单 元; 作业装置系具备有:接收经由产业用机器的通讯单 元加以发送的密码机器资讯,且对于产业用机器所 要求而接收用于将密码机器资讯加以密码时的共 通键的通讯单元、和记忆着经由作业装置的通讯 单元加以接收的共通键,且使用所记忆的共通键将 密码机器资讯加以解码的解码单元、和记忆着经 由解码单元所解码的机器资讯,且输出所记忆的机 器资讯的全部或一部分分的输出入单元。 5.一种遥控保养系统,乃属于实行指定处理的一个 以上的产业用机器、加以管理由产业用机器所发 送的资讯的管理装置、和保养产业用机器的作业 装置是透过网际网路而连接的遥控保养系统,其特 征为: 产业用机器系具备有对管理装置发送显示产业用 机器状态的机器资讯的通讯单元; 管理装置系具备有:将经由产业用机器所发送的机 器资讯使用指定共通键加以密码的密码单元、和 将属于经由密码单元加以密码的机器资讯的密码 机器资讯,配合来自作业装置的要求而发送到作业 装置,且配合来自接收密码机器资讯的作业装置的 要求而发送用于将密码机器资讯加以密码时的共 通键的通讯单元、和管理装置用来输出显示对作 业装置发送共通键的过程的全部或一部分分的输 出入单元; 作业装置系具备有:接收管理装置的通讯单元所发 送的密码机器资讯,且对于管理装置所要求而接收 对密码机器资讯加以密码时所用的共通键的通讯 单元、和记忆着作业装置的通讯单元所接收的共 通键,且使用记忆的共通键对密码机器资讯加以解 码的解码单元、和记忆着解码单元所解码的机器 资讯,且输出所记忆的机器资讯的全部或一部分分 的输出入单元。 6.一种遥控保养系统,在实行指定处理的一个以上 的产业用机器和保养产业用机器的一个以上的作 业装置是透过网际网路而连接的遥控保养系统中, 其特征为: 产业用机器系具备有:将表示产业用机器状态的机 器资讯使用指定共通键加以密码的密码单元、和 决定发送属于密码单元密码的机器资讯的密码机 器资讯的作业装置的决定单元、和将密码单元密 码的密码机器资讯发送至决定单元决定的作业装 置,且配合来自接收发送密码机器资讯的作业装置 的要求,来发送对密码机器资讯加以密码时所用的 共通键的通讯单元、和输出表示产业用机器对作 业装置发送共通键的过程的全部或一部分的输出 入单元,作业装置系具备有:接收产业用机器的通 讯单元发送的密码机器资讯,且要求产业用机器接 收对密码机器资讯加以密码时所用的共通键的通 讯单元、和记忆着作业装置的通讯单元接收的共 通键,且使用记忆的共通键对密码机器资讯加以解 码的解码单元、和记忆着解码单元解码的机器资 讯,且输出记忆的机器资讯的全部或一部分的输出 入单元。 7.一种遥控保养系统,在实行指定处理的一个以上 的产业用机器和保养产业用机器的一个以上的作 业装置是透过网际网路而连接的遥控保养系统中, 其特征为: 产业用机器系具备有将表示产业用机器状态的机 器资讯发送至管理装置的通讯单元,管理装置系具 备有:将产业用机器的通讯单元发送的机器资讯使 用指定的共通键加以密码的密码单元、和决定发 送属于密码单元密码的机器资讯的密码机器资讯 的作业装置的决定单元、和将密码单元密码的密 码机器资讯发送至决定单元决定的作业装置,且配 合来自接收密码机器资讯的作业装置的要求,发送 对密码机器资讯加以密码时所用的共通键的通讯 单元、和输出表示管理装置对作业装置发送共通 键的过程的全部或一部分的输出入单元,作业装置 系具备有:接收前述管理装置的通讯单元发送的密 码机器资讯,且管理装置要求接收对密码机器资讯 加以密码的共通键的通讯单元、和记忆着作业装 置的通讯单元接收的共通键,且使用记忆的共通键 对密码机器资讯加以解码的解码单元、和记忆着 解码单元解码的机器资讯,且输出记忆的机器资讯 的全部或一部分的输出入单元。 8.如申请专利范围第1项至第7项的任一项的遥控保 养系统,其中,前述产业用机器是属于半导体制造 检查装置。 9.如申请专利范围第1项至第7项的任一项的遥控保 养系统,其中,前述作业装置、具备有演算配合根 据前述机器资讯所实施的前述产业用机器的保养 内容的等价的演算单元,该作业装置的输出入单元 是发送该演算的等价。 10.一种遥控保养方法,其特征为具备有: 产业用机器与保养该产业用机器的作业装置是透 过网际网路而连接,将表示前述产业用机器状态的 机器资讯使用指定共通键加以密码的步骤、和配 合来自前述作业装置的要求而发送密码的密码机 器资讯的步骤、和输出由前述产业用机器对前述 作业装置发送共通键的步骤。 11.一种遥控保养方法,其特征为具备有: 产业用机器与保养该产业用机器的作业装置是透 过网际网路而连接,接收表示前述产业用机器状态 的机器资讯密码的密码机器资讯与共通键的步骤 、和使用该共通键对前述密码机器资讯加以解码 的步骤、和输出解码的机器资讯的步骤。 12.一种遥控保养方法,其特征为具备有: 产业用机器与保养该产业用机器的作业装置是透 过网际网路而连接,将表示前述产业用机器状态的 机器资讯使用指定共通键加以密码的步骤、和配 合来自前述作业装置的要求而发送密码的密码机 器资讯的步骤、和输出前述产业用机器对前述作 业装置发送共通键的步骤、和接收发送的密码机 器资讯与共通键的步骤、和使用该共通键对前述 密码机器资讯加以解码的步骤、和输出解码的机 器资讯的步骤。 13.如申请专利范围第10项至第12项的任一项的遥控 保养方法,其中,前述产业用机器是属于半导体制 造检查装置。 14.如申请专利范围第10项至第12项的任一项的遥控 保养方法,其中,经由前述作业装置来演算配合根 据前述机器资讯所实施的前述产业用机器的保养 内容的等价,且发送该演算的等价。 图式简单说明: 第1图是表示本发明的第一实施形态的系统构成方 块图。 第2图是表示半导体制造检查装置的构成方块图。 第3图是表示密码机器资料封包的构成图。 第4图是表示共通键管理表格的构成图。 第5图是表示保养员属性管理表格的构成图。 第6图是表示分析状况管理表格的构成图。 第7图是表示程式实行过程管理表格的构成图。 第8图是表示实行权限管理表格、程式实行过程管 理表格以及感测状态过程管理表格的构成图。 第9图是表示知识管理表格的构成图。 第10图是表示在半导体制造检查装置与作业装置 之间进行收发讯的讯息资料的构成图。 第11图是表示作业装置收发送着手分析通知与着 手分析回应时的动作流程图。 第12图是表示半导体制造检查装置的通讯部收发 讯着手分析通知与着手分析回应时的动作流程图 。 第13图是表示作业装置发送分析操作通知时的动 作流程图。 第14图是表示半导体制造检查装置的通讯部接收 分析操作通知时的动作流程图。 第15图是表示作业装置发送分析完成通知时的动 作流程图。 第16图是表示半导体制造检查装置的通讯部接收 分析完成通知时的动作流程图。 第17图是表示显示于作业装置的分析作业画面图 。 第18图是表示显示于半导体制造检查装置的分析 实绩输出画面图。 第19图是设置在制造工厂的管理装置的构成方块 图。 第20图是表示本发明的第三实施形态的系统构成 方块图。 第21图是表示在设置在半导体制造工厂的管理装 置与保养中心的作业装置之间进行收发讯的委托 保养资料的构成图。 第22图是表示分析状况管理表格的构成图。 第23图是表示半导体制造检查装置的通讯部接收 委托保养时的动作流程图。 |
