| 发明名称 | 双极型静电卡盘 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种双极型静电卡盘，其特征在于，包括：卡盘本体，具有安装面；环状电极部件，具有开口、形成环状，并介由粘合层固定在上述卡盘本体的安装面上；内侧电极部件，距离环状电极部件规定的间隔地配置在该环状电极部件的开口内，并介由粘合层固定在上述安装面上；和外侧电极部件，距离环状电极部件规定的间隔地配置在上述环状电极部件的外侧，并介由粘合层固定在上述安装面上，其中，上述内侧电极部件和外侧电极部件构成第一电极，上述环状电极部件构成第二电极。与现有的双极型静电卡盘相比，容易制造，并且在使用后，可以容易地分离构成静电卡盘的卡盘本体和各个电极部件，从而可以实现高效的再利用。 | ||
| 申请公布号 | CN1806324A | 申请公布日期 | 2006.07.19 |
| 申请号 | CN200480016809.8 | 申请日期 | 2004.06.15 |
| 申请人 | 创意科技股份有限公司 | 发明人 | 宫下欣也 |
| 分类号 | H01L21/68(2006.01);H02N13/00(2006.01) | 主分类号 | H01L21/68(2006.01) |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 曲瑞 |
| 主权项 | 1、一种双极型静电卡盘，其特征在于，包括：卡盘本体，具有安装面；环状电极部件，具有中央开口、形成环状，并介由粘合层固定在上述卡盘本体的安装面上；内侧电极部件，距离环状电极部件规定的间隔地配置在该环状电极部件的中央开口内，并介由粘合层固定在上述安装面上；和外侧电极部件，距离环状电极部件规定的间隔地配置在上述环状电极部件的外侧，并介由粘合层固定在上述安装面上，其中，上述内侧电极部件和外侧电极部件构成第一电极，上述环状电极部件构成第二电极。 | ||
| 地址 | 日本神奈川县 | ||