半导体元件之多重波长雷射微加工

摘要

一特殊型态的雷射脉冲能量分布(98，104，156)系具有在其分布之不同时点包含不同雷射波长之特征，其系提供减少且受到控制的抖动以致能达到高品质处理和较小之可行的光点尺寸之半导体元件的微加工。