SUBSTRATE WORK STATION AND ADD-ON MODULE FOR A SUBSTRATE WORK STATION

摘要

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Substrat-Arbeitsstation (2) zum Bearbeiten und/oder Untersuchen und/oder Transport von Substraten. Die Substrat- Arbeitsstation (2) umfasst eine Zentraleinheit (15) und ein Gehäuse (14). Die Zentraleinheit (15) ist in dem Gehäuse (14) angeordnet und dient zum Bearbeiten und/oder Untersuchen und/oder Transport eines Substrats. Das Gehäuse (14) weist mindestens eine Schnittstelle (5) auf , an welcher ein Loadport-Modul (6) andockbar ist. Zum zumindest zeitweise Erhöhen der Funktion einer Substrat-Arbeitsstation (2) bei einer nicht oder nicht wesentlichen Erhöhung des Footprints der Substrat- Arbeitsstation (2) ist die erfindungsgemäße Substrat-Arbeitsstation (2) dadurch gekennzeichnet, dass an dem Gehäuse (14) oder an der Schnittstelle (5) ein Zusatzmodul (1 ) anbringbar ist, mit welchem Substrate bearbeitbar und/oder untersuchbar und/oder transportierbar sind. Des Weiteren betrifft die vorliegende Erfindung ein Zusatzmodul (1 ), welches an eine Substrat-Arbeitsstation (2) anbringbar ist und mit welchem Substrate bearbeitbar und/oder untersuchbar und/oder transportierbar sind.