| 发明名称 |
EROSION RESISTANT PROCESS CHAMBER COMPONENTS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20060048100(A) |
申请公布日期 |
2006.05.18 |
| 申请号 |
KR20050044187 |
申请日期 |
2005.05.25 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS INC. |
发明人 |
LAXMAN MURUGESH;STAN DETMAR;HO FANG |
| 分类号 |
C04B35/10;H01L21/02;C23C16/00;C23C16/44 |
主分类号 |
C04B35/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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