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发明名称 SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS FOR LESSENING LOSS DUE TO BAD RF
摘要
申请公布号 KR20060035137(A) 申请公布日期 2006.04.26
申请号 KR20040084490 申请日期 2004.10.21
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 JUNG, CHEE KWAN
分类号 H01L21/02;H01L21/304 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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