发明名称 ROBOT FOR TRANSFERRING SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 KR20060035071(A) 申请公布日期 2006.04.26
申请号 KR20040084399 申请日期 2004.10.21
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 LEE, CHANG SEOB
分类号 H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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