| 主权项 |
1.一种基板承载结构,适用于一间隙物散布机内,该 基板承载结构具有一平台,该平台具有复数个贯穿 该平台之顶针孔,该平台下方具有一基座,基座上 方具有复数个与该些顶针孔相对之顶针,至少一中 央顶针位于平台中央区域的下方,一步进马达同步 驱动该基座及该中央顶针升降,其特征在于: 当该基座降至下死点时,该些顶针及该中央顶针仍 可经由顶针孔透出该平台表面。 2.如申请专利范围第1项所述之基板承载结构,其中 该该些顶针及该中央顶针仍透出该平台表面的高 度约介于1公厘至10公厘之间。 3.如申请专利范围第1项所述之基板承载结构,其中 该些顶针及该中央顶针仍透出该平台表面的高度 约介于4公厘至7公厘之间。 4.如申请专利范围第1项所述之基板承载结构,其中 该中央顶针下方更包括一垫片。 5.一种基板承载结构,适用于一间隙物散布机内,该 基板承载结构具有一平台,该平台具有复数个贯穿 该平台之顶针孔,该平台下方具有一基座,基座上 方具有复数个与该些顶针孔相对之顶针,至少一中 央顶针位于平台中央区域的下方,一步进马达同步 驱区动该基座及该后中央顶针升降,其特征在于: 一垫片,位于该中央顶针上,当该基座降至下死点 时,该些顶针及该垫片仍可经由顶针孔透出该平台 表面并等高。 6.如申请专利范围第5项所述之基板承载结构,其中 该该些顶针及该中央顶针仍透出该平台表面的高 度约介于1公厘至10公厘之间。 7.如申请专利范围第5项所述之基板承载结构,其中 该些顶针及该中央顶针仍透出该平台表面的高度 约介于4公厘至7公厘之间。 8.一种基板承载结构,适用于一间隙物散布机内,该 散布机内具有一平台,该平台具有复数个贯穿该平 台之顶针孔,该平台下方具有一基座,基座上方具 有复数个与该些顶针孔相对之顶针,至少一中央顶 针位于平台中央区域的下方,一步进马达同步驱动 该基座及该中央顶针升降,其特征在于:调整该基 座上之调整螺丝使该基座上升以及在该中央顶针 上加装一垫片,当该基座降至下死点时,该些顶针 及该中央顶针仍可经由顶针孔透出该平台表面以 适用于承载一基板。 9.如申请专利范围第8项所述之基板承载结构,其中 该该些顶针及该中央顶针仍透出该平台表面的高 度约介于1公厘至10公厘之间。 10.如申请专利范围第8项所述之基板承载结构,其 中该些顶针及该中央顶针仍透出该平台表面的高 度约介于4公厘至7公厘之间。 图式简单说明: 第1图是基板之俯视图;以及 第2图系绘示移除平台后散布机的俯视示意图。 |
