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发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 KR100544259(B1) 申请公布日期 2006.01.23
申请号 KR20057019433 申请日期 2005.10.13
申请人 发明人
分类号 H01L21/00;H01L21/28;H01L21/306;H01L21/31;H01L21/314;H01L21/316;H01L21/336;H01L21/469;H01L21/76;H01L21/8238;H01L29/423;H01L29/51 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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